Diseño de una Arquitectura con Tecnología Micro-Electromecánica para la Detección de Desplazamiento

Abstract

El presente trabajo se fundamenta en una investigación realizada sobre los sistemas de sensado para la detección de desplazamiento en un dispositivo MEMS tipo pantógrafo, con base en el proceso de fabricación de Sandia Labs. SUMMIT V. Como parte del proyecto se busca diseñar una estructura tipo pantógrafo considerando las diferentes características fisicas del material y factores relevantes para su diseño, siendo esta comparada con una estructura tipo extensiometro. En los primeros capítulos se presentan las bases para entender el contexto del diseño y la tecnología utilizada. Esto invita a trabajos posteriores en sistemas basados en la misma tecnología. Se presenta el estado del arte relevante para conocer los trabajos realizados relacionados. El resultado de esta investigación permite exhibir la estructura resultante que fue fabricada con fines de respaldar lo descrito a lo largo del documento. En el documento se muestran las fotografias del diseño fabricado y se describen sus bases. Los diseños muestran dos variantes en la estructura la cual ofrece variantes en la actuación. En uno de ellos con barras de la misma dimensión y otro con dimensiones diferentes. Se incluyen también una serie de simulaciones realizadas en ANSYS Workbench. Se comentan trabajos propuestos basados en la experiencia de la presente investigación, invitando a realizar investigaciones futuras sobre el tema.